傳感器型號：6010N
應用示例：
•晶圓拋光機設置
•化學機械拋光
特點：適用于直徑達12英寸的晶圓
要求：雙手柄或兩個VersaTek®手柄
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螺距
L W A MW MH CW碳鋼數量。RW RS數量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
5620N 14.96 13.78 10.20 12.65 1.73 0.118 0.287 44 0.016 0.039 44 1936 88.4
5630N 14.96 9.84 10.20 8.66 1.73 0.118 0.197 44 0.016 0.039 44 1936 129.0
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
5620N 380.0 350.0 259.0 321.2 44.0 3.0 7.3 44 0.4 1.0 44 1936 13.7
模型
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
矩陣
高度
列行
總數
感官
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6020N/6030N
應用示例：
•晶圓拋光
•載環調整
特征：
•適用于直徑為6“、8”和12“的晶圓
•四個感應區域
要求：雙手柄或兩個VersaTek®手柄
分辨率
螺距
L W A MW MH CW碳鋼數量。RW RS數量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6010N 22.40 17.44 4.96 14.20 14.20 0.098 0.161 88 0.098 0.161 88 7744 38.4
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6010N 569.0 443.0 126.0 360.8 360.8 2.5 4.1 88 2.5 4.1 88 7744 5.9
一般尺寸感測區域尺寸
模型
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
矩陣
高度
列行
總數
感官
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6077
應用示例：車門密封件
特征：
•低壓應用
•無通風口
分辨率
螺距
L W A MW MH CW碳鋼數量。RW RS數量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6077 11.50 4.78 7.35 3.75 2.10 0.050 0.075 50 0.050 0.075 28 1400 177.8
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6077 292.1 121.3 186.8 95.3 53.3 1.3 1.9 50 1.3 1.9 28 1400 27.6
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
列行
總數
感官
一般尺寸感測區域尺寸
模型
矩陣
高度
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6220/6230
應用示例：
•緊固件、o型環、環形墊圈、螺栓、鉚釘和減震器
•類似于負載墊圈
特征：
•傳感器的中心孔可以“沖出”到任何尺寸，而不會損壞傳感器，從而安裝各種
螺栓尺寸
•內部通風口
模型
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
身份證件
矩陣
外徑
平均靈敏度
空間分辨率
L W A MID MOD SW SA數量。RW RS數量。
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6220 10.00 3.01 7.47 0.25 2.00 0.020 6.916 45 0.010 0.025 36 1235 471.4
6230 11.00 4.03 3.29 0.80 2.95 0.010 6.400 51 0.010 0.025 44 2244 418.3
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6220 254.0 76.6 189.8 6.4 50.8 0.5 6.9 45 0.3 0.6 36 1235 73.1
6230 279.4 102.4 83.6 20.3 74.9 0.3 6.4 51 0.3 0.6 44 2244 64.8
輪輻環總數
感官
一般尺寸感測區域尺寸匯總
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6300
應用實例：車門密封件、油底殼密封件和滾筒圓度測量
特征：
•傳感器可以從任何邊緣切割，使其更短或更窄，而不影響輸出
•內部通風口
分辨率
螺距
L W A MW MH CW碳鋼數量。RW RS數量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6300 8.73 12.39 5.71 10.40 1.32 0.125 0.200 52 0.010 0.030 44 2288 166.7
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6300 221.7 314.6 145.0 264.2 33.5 3.2 5.1 52 0.3 0.8 44 2288 25.8
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
矩陣
高度
一般尺寸感測區域尺寸
模型
列行
總數
感官
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
